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立式熱處理爐 玉崎代理 日本OHKURA大倉

立式熱處理爐 玉崎代理 日本OHKURA大倉
特征
本裝置是半導(dǎo)體制造工序——熱處理工序中所使用的立式熱處理爐(擴散爐)?,F(xiàn)在在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,開始從大批量生產(chǎn)方式向多品種少量生產(chǎn)方式轉(zhuǎn)變。本裝置可以進行小容量、高速處理,而且尺寸小巧,可以設(shè)置在現(xiàn)有的無塵室中。

  • 產(chǎn)品型號:DF1600
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-03
  • 訪  問  量:280
立即咨詢

聯(lián)系電話:13717025688

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
應(yīng)用領(lǐng)域化工,農(nóng)業(yè),建材,電子,綜合供貨號 137.1702.5688

立式熱處理爐 玉崎代理 日本OHKURA大倉 

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本裝置是半導(dǎo)體制造工序——熱處理工序中所使用的立式熱處理爐(擴散爐)?,F(xiàn)在在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,開始從大批量生產(chǎn)方式向多品種少量生產(chǎn)方式轉(zhuǎn)變。本裝置可以進行小容量、高速處理,而且尺寸小巧,可以設(shè)置在現(xiàn)有的無塵室中。


■可高速升降溫(支持FTP)
通過采用立式電阻加熱方式的加熱器,可進行高速升溫、高速降溫,僅需1臺即可完成高速升降溫處理以及通常處理。

■本公司自主研發(fā)的晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
通過使用本公司自主研發(fā)的晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng),實現(xiàn)驅(qū)動部的高可靠性。

■搭載節(jié)距變換設(shè)備
可將晶舟側(cè)溝節(jié)距變換為任意節(jié)距從而轉(zhuǎn)移晶圓。(設(shè)定范圍4.76-9.52mm)晶圓的搬運以片盒到片盒的方式進行。

■重視生產(chǎn)率和操作性的裝置
操作部采用帶有觸摸屏的TFT面板,生產(chǎn)率和操作性均十分出眾。

■晶圓可低溫入爐
晶圓可低溫入爐。顯著降低了大氣夾帶的影響。

■可以安全輕松地拆裝反應(yīng)管
利用自動升降機,可以更加安全輕松地拆裝反應(yīng)管。

■溫度控制系統(tǒng)
在加熱器及溫度控制系統(tǒng)中采用了方式,顯著提高溫度恢復(fù)特性。

■可維護性
設(shè)計合理,即使安裝多臺,也不會降低可維護性和操作性。

結(jié)構(gòu)立式下方開放型
處理晶圓直徑φ100mm-φ200mm
處理方式批處理
50片/批處理
盒子收納包括在制品、監(jiān)控品、虛設(shè)品在內(nèi)最多9盒
工藝WET、DRY、ANNEAL、BAKE etc
使用氣體N2、O2、H2 etc
晶圓處理5片/1片切換轉(zhuǎn)移
升降溫速率升溫 100℃/min max
降溫  50℃/min max


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