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ULVAC 愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 原裝現(xiàn)貨LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合,使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。在4種機(jī)型中,您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。
聯(lián)系電話:13717025688
品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 價(jià)格區(qū)間 | 2萬-3萬 |
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儀器種類 | 真空泵 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),建材,綜合 |
供貨號(hào) | 137.1702.5688 |
ULVAC 愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 原裝現(xiàn)貨
ULVAC 愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 原裝現(xiàn)貨
高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信,則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
型號(hào) | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
機(jī)械增壓泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
最大 排氣速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
到達(dá)壓力 | 5.0 Pa | ||||||||
最大排氣壓力(吸入圧力) | 大氣壓 | ||||||||
最大排氣口壓力 (排出圧力) | 1.0~ 大氣壓 Pa | ||||||||
吸氣口 (CE規(guī)格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
排氣口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
質(zhì)量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
電源 *2 | 三相 | 180~240 VAC/ 380~440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC (50/60 Hz) | |||||
電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
冷卻水一次壓力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
冷卻水出入口壓差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa |
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