超短脈沖激光是指單脈沖寬度(時間寬度)為數(shù)皮秒至數(shù)飛秒的激光。皮秒是一個時間單位,大約是萬億分之一秒。另一方面,飛秒也是一個時間單位,大約是萬億分之一秒的 1/1000。
據(jù)說光每秒傳播約 300,000 公里。然而,光在1皮秒內(nèi)傳播的距離約為0.3毫米,光在1飛秒內(nèi)傳播的距離約為0.3微米。
這表明超短脈沖激光器是脈沖時間寬度極短的激光器。脈沖是在短時間內(nèi)發(fā)生顯著變化的信號的總稱。
由于其極短的脈沖特性,超短脈沖激光器對激光加工區(qū)域周圍的熱量幾乎沒有影響。此外,許多材料都可以進行高質(zhì)量的激光加工。
超短脈沖激光具有高峰值強度,并且由于分子吸收多個光子時可引起“引起電離的多光子電離"或“由于光的強電場的隧道電離"相關(guān)的非線性吸收,因此即使在透明材料中也具有強吸收。 。
通過將飛秒激光聚焦在透明材料內(nèi)部,可以在材料內(nèi)部進行三維加工。
此外,我們可以加工多種材料,從硬金剛石到低硬度玻璃、軟樹脂、復合材料、石英和陶瓷。
超短脈沖激光器幾乎不施加熱量,因此不會產(chǎn)生毛刺,并且可以微米級進行調(diào)整。這使得精細加工成為可能,例如鉆孔、修整和微紋理化。
此外,飛秒脈沖激光器可以比皮秒脈沖激光器執(zhí)行更精確的加工。
然而,納秒脈沖激光器受熱影響,可能會產(chǎn)生毛刺。
激光振蕩方式主要有兩種:連續(xù)振蕩和脈沖振蕩。具有連續(xù)波機制的激光器稱為CW(連續(xù)波)激光器,激光器連續(xù)振蕩。
另一種類型稱為脈沖激光,激光間歇振蕩。
此外,脈沖振蕩的機制有多種,例如直接調(diào)制、外部調(diào)制、Q開關(guān)和鎖模,每種機制都會產(chǎn)生不同的脈沖寬度。
超短脈沖激光器通常采用鎖模方法來處理皮秒和飛秒脈沖寬度。由于時間和頻率之間的傅里葉變換關(guān)系,為了產(chǎn)生超短脈沖,必須有足夠的光譜展寬和恒定的相位關(guān)系。鎖模方法被用作創(chuàng)造該條件的最佳方法。
鎖模方式一般有兩種:強制鎖模和被動鎖模(自鎖模)。
強制模式同步
強制鎖模是一種通過在激光諧振腔內(nèi)放置損耗或相位調(diào)制器并將調(diào)制頻率與縱模間距匹配來同步模式之間的相位的方法。
被動模式同步
無源鎖模用諧振器內(nèi)的可飽和吸收器代替調(diào)制器。結(jié)果,脈沖的前沿被吸收器刮掉。通過激光介質(zhì)的飽和來切割后端部分,從而獲得超短脈沖。
超短脈沖激光器的脈沖寬度小于皮秒或飛秒范圍,由于其結(jié)構(gòu),它們屬于昂貴的激光器范疇。
振蕩波長根據(jù)用途有多種規(guī)格,從1微米波段紅外線的基波,到二次諧波綠光和三次諧波紫外線。還有適用于微細加工的產(chǎn)品,以及用于科學研究的產(chǎn)品,價格范圍一般在數(shù)千萬日元。
第一個被稱為紅寶石激光器的脈沖激光器于 20 世紀 60 年代開發(fā)出來。當時的紅寶石激光器屬于普通振蕩,輸出的是短脈沖。然而,自從Q開關(guān)方法被開發(fā)出來以來,它已經(jīng)成為一種實用的激光器,并且至今仍在使用。
Q開關(guān)方法主要處理從us(微秒)到ns(納秒)的脈沖寬度。Q開關(guān)方式的激光輸出利用脈沖振蕩,是在短時間內(nèi)一次性獲得大量輸出的方式。
該方法通過降低Q值直到激光晶體發(fā)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)并變大來限制激光振蕩。然后,當粒子數(shù)反轉(zhuǎn)達到一定大小時,通過增加Q值來產(chǎn)生強脈沖光。
主要用于加工電子和半導體零件。
通過如上所述的Q開關(guān)方法的建立,與使用紅寶石或其他材料的固態(tài)激光器相比,峰值功率得到了提高,使得再現(xiàn)單個高功率納秒脈沖成為可能。
隨后,1965年改進了紅寶石激光器,1966年在玻璃激光器中實現(xiàn)了使用可飽和吸收體的鎖模振蕩。這使得激光輸出能夠在皮秒內(nèi)完成。
1968年,通過外部壓縮輸出脈沖實現(xiàn)了亞皮秒激光輸出。
此外,20 世紀 70 年代,皮秒的鼎盛時期到來了。在此期間,出現(xiàn)了YAG激光器和染料激光器,并開始利用快速脈沖操作的鎖模,實用的皮秒激光器問世。
此外,1974 年,連續(xù)泵浦染料激光器實現(xiàn)了亞皮秒脈沖的直接生成。
YAG激光是一種通過對釔(Y)、鋁(A)、石榴石(G)等晶體施加強光來激發(fā)并產(chǎn)生激光的方法,這些晶體也被稱為YAG激光。
這種方法不使用電極,因此更容易管理,并且更容易在短時間內(nèi)進行加工和自動化處理。
染料激光器是一種稱為液體激光器的激光器,它使用溶解在酒精、水等中的染料作為激光介質(zhì)。這種激光器具有很寬的波長范圍并且可以連續(xù)調(diào)諧。它還具有廣泛的應用,用于癌癥治療和鈾濃縮。
1981年,一種稱為碰撞脈沖模式同步的方法被開發(fā)出來,開創(chuàng)了飛秒時代。然后,在1982年,通過脈沖壓縮方法的發(fā)展縮短了脈沖寬度。
隨后,到了20世紀90年代,自鎖模鈦藍寶石激光器被開發(fā)出來,穩(wěn)定、高性能的飛秒激光器開始流行。
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